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在之前的博客中，描述了掃描電鏡（SEM）自動化分析是如何節(jié)省研究人員和操作員的寶貴時(shí)間。掃描電鏡的操作者使用電鏡的目的各不相同。這篇博客詳細(xì)描述了掃描電鏡（SEM）在自動化的激光損傷閾值測試（LIDT）中的應(yīng)用。

掃描電鏡（SEM）：自動化的激光損傷閾值測試

較強(qiáng)的激光會破壞光學(xué)器件，如鏡面，光學(xué)涂層或纖維。為了選擇合適的光學(xué)器件， 發(fā)現(xiàn)多大能量的激光會損害一個(gè)組件，或者*地改變其光學(xué)特性是十分重要的。

圖一：光學(xué)涂層被激光損傷后的掃描電鏡背散射（BSD）圖片

為了確定準(zhǔn)確的激光能量影響大小，需要進(jìn)行激光損傷閾值測試。柵格圖樣中的光學(xué)器件暴露在具有不同強(qiáng)度和波長的激光中。在接觸激光后，使用不同類型的光學(xué)顯微鏡和掃描電鏡檢查這些光學(xué)器件的損傷程度。網(wǎng)格包含數(shù)百個(gè)不同的點(diǎn)，每個(gè)點(diǎn)都必須檢測。人工手動測試將需要消耗大量的時(shí)間。